在實際生產(chǎn)中，我們發(fā)現(xiàn)鋰電池等離子清洗機一些重要的部件會隨著使用時間的推移產(chǎn)生不同程度的氧化、老化、腐蝕等問題，會是引起清洗機達不到清洗效果的原因，例如反應腔、電極、托板架、氣體的壓力等。對此，小編介紹了幾個關(guān)鍵部位保養(yǎng)前后的效果以及如何進行保養(yǎng)，希望能幫助到大家！

　　

　　等離子腔體清潔時產(chǎn)生的污物大部分都接近電子級別，會隨著真空泵排除。但也會有一些大顆粒污染物產(chǎn)生。這些大顆粒污物會附著在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”，腔底掉落更嚴重。

　　

　　對于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落，用吸塵機將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭，其次腔體導入N2和O2，用等離子體清除腔體內(nèi)殘余物，工作10min。

　　

　　鋰電池等離子清洗機在使用過程中，腔體內(nèi)出現(xiàn)的一些殘留物和氧化層，在前期發(fā)展階段，該薄層并不影響設備的運行或成品。但是經(jīng)過持續(xù)的運轉(zhuǎn)后，發(fā)現(xiàn)了清洗效果不穩(wěn)定，能察覺到微小改變，所以在使用一段時間之后是需要將托板架與電極進行清洗翻新。

　　

　　同時設備出現(xiàn)的故障也直接體現(xiàn)設備的保養(yǎng)的程度。如經(jīng)適當?shù)木S修、翻新，電極的使用壽命可達到預期使用值。那么，等離子清洗機的保養(yǎng)應從以上這些方面進行，根據(jù)保養(yǎng)項目劃分周期分為每日、每周、每月、半年、每年、2年、3年等等，

　　

　　在實際生產(chǎn)過程中，影響等離子清洗效果的不僅僅是工藝技術(shù)，還有設備的穩(wěn)定性，比如工藝氣體的微小泄露、電極托板架的烴基殘留物、腔體內(nèi)其他管道的氧化程度以及設備本身不同程度的故障這些都是在生產(chǎn)制造過程中直接對生產(chǎn)產(chǎn)生影響。因此，做好鋰電池等離子清洗機維護保養(yǎng)非常必要。